特許
J-GLOBAL ID：200903084287500100

超音波振動切削装置および超音波振動切削装置に用いられる取付補助治具

発明者：
邱 暁明

邱 暁明 について

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小沢 成俊

小沢 成俊 について

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熊谷 壮祐

熊谷 壮祐 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-202248
公開番号（公開出願番号）：特開2007-015095
出願日： 2005年07月11日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】異常音の発生を抑え、寿命の長い超音波振動切削装置を提供すること。【解決手段】スピンドル25と、スピンドル25を回転可能に支持するスピンドルハウジング26と、切削ブレード22と、スピンドル25に設けられて超音波振動を発する超音波振動子33とを備え、超音波振動子33から発せられスピンドル25の軸方向に伝達される超音波振動の伝達方向を切削ブレード22の径方向に変換し、該径方向に超音波振動する切削ブレード22によって被加工物を切削する超音波振動切削装置20において、切削ブレード22の基台部21に設けられた貫通孔21cを介してスピンドル25の先端部24の穴24cに結合する取付ボルト29の締結によって切削ブレード22とスピンドル25の先端部24とを固定するとともに、取付ボルト29と貫通孔21cの内壁とを非接触状態にするようにしている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
スピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、前記スピンドルの先端部に装着され、切削砥石部と該切削砥石部を支持する基台部と該基台部の中心部に形成された基台部貫通孔とを有した切削ブレードと、前記スピンドルに設けられて超音波振動を発する振動子とを備え、前記振動子から発せられ前記スピンドルの軸方向に伝達される超音波振動の伝達方向を前記切削ブレードの径方向に変換し、該径方向に超音波振動する前記切削ブレードによって被加工物を切削する超音波振動切削装置において、 前記切削ブレードの基台部に設けられた前記基台部貫通孔を介して前記スピンドルの先端部に形成されたねじ孔に螺合するボルト部材の締結によって前記切削ブレードと前記スピンドルの先端部とを固定するとともに、前記ボルト部材と前記基台部貫通孔の内壁とを非接触状態にすることを特徴とする超音波振動切削装置。
IPC (5件)：
B24B 41/04 ,  B24B 1/04 ,  B24B 47/12 ,  B28D 5/02 ,  H01L 21/301
FI (5件)：
B24B41/04 ,  B24B1/04 B ,  B24B47/12 ,  B28D5/02 A ,  H01L21/78 F
Fターム (15件)：
3C034AA08 ,  3C034BB02 ,  3C034BB51 ,  3C049AA04 ,  3C049AA09 ,  3C049AA14 ,  3C049CA05 ,  3C049CB02 ,  3C049CB04 ,  3C049CB05 ,  3C069AA01 ,  3C069BA04 ,  3C069BC02 ,  3C069CA05 ,  3C069EA03
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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