特許
J-GLOBAL ID:200903084304887944

レーザーを用いたタッチスクリーンの透明電極の蝕刻方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 原 謙三 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-172722
公開番号(公開出願番号):特開2003-037314
出願日: 2002年06月13日
公開日(公表日): 2003年02月07日
要約:
【要約】【課題】 レーザーを用いたタッチスクリーンの透明電極の蝕刻方法を提供する。【解決手段】 (a) 高分子系材質のタッチスクリーン上に透明電極膜を用意する段階と、(b) 前記透明電極膜上に紫外線領域のレーザービームを照射して蝕刻する段階とを具備し、前記レーザービームの照射時、所定の加工線幅を確保し、前記タッチスクリーンの損傷を防止するように前記レーザービームの焦点を暈すことを特徴とする。これによれば、従来の湿式蝕刻方法と比較して親環境的な製造方法として多様に要求されるタッチスクリーン産業の発達と共にその使用の増大が期待される。
請求項(抜粋):
(a)高分子系材質のタッチスクリーン上に透明電極膜を用意する段階と、(b)前記透明電極膜上に紫外線領域のレーザービームを照射して蝕刻する段階とを具備し、前記レーザービームの照射時、所定の加工線幅を確保し、前記タッチスクリーンの損傷を防止するように前記レーザービームの焦点をぼかすことを特徴とするレーザーを用いたタッチスクリーンの透明電極の蝕刻方法。
Fターム (11件):
5F072AB02 ,  5F072AB20 ,  5F072HH09 ,  5F072JJ08 ,  5F072JJ09 ,  5F072KK05 ,  5F072MM08 ,  5F072MM15 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR05 ,  5F072YY06
引用特許:
審査官引用 (4件)
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