特許

J-GLOBAL ID：200903084321307625

情報提供方法及び情報提供システム

発明者： 加納 一郎 ,  宇多村 信治 ,  水尻 薫 ,  杉森 卓 ,  大竹 雅裕 ,  稲 秀樹 ,  小倉 真哉 ,  大串 信明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-318069
公開番号（公開出願番号）：特開2002-132986
出願日： 2000年10月18日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】露光装置の使用に関連する条件(例えば、使用条件、目標性能)の下での該装置についての情報(例えば、性能、最適条件)を迅速に顧客に提供する。【解決手段】露光装置250の使用に関連する顧客条件210を顧客200からインターネット400を介して受信し、サービス提供者の管理下にある非公開の装置データ110を利用して、受信に係る顧客条件210の下での露光装置250についての性能及び最適条件を性能シミュレーションソフトウェア120及び最適化ソフトウェア130により求め、インターネット400を介して顧客200に送信する。

請求項（抜粋）：

データ通信ネットワークを利用して、顧客が使用する装置についての情報を顧客に提供する情報提供方法であって、装置の使用に関連する条件を前記データ通信ネットワークを介して前記装置を使用する顧客から受信する受信工程と、前記装置の供給者の管理下にある前記装置についての非公開の装置データを利用して、前記受信工程で受信された条件の下での前記装置についての情報を準備するデータ処理工程と、前記データ処理工程で準備された情報を前記データ通信ネットワークを介して前記顧客に送信する送信工程と、を含むことを特徴とする情報提供方法。

IPC (5件)：

G06F 17/60 138 ,  G06F 17/60 152 ,  G03F 7/20 521 ,  G06F 19/00 110 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G06F 17/60 138 ,  G06F 17/60 152 ,  G03F 7/20 521 ,  G06F 19/00 110 ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (2件)：

5F046DA30 ,  5F046DD06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• デバイス製造支援装置、デバイス製造システム、及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-359853   出願人：株式会社ニコン
• 遠隔診断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-013773   出願人：富士写真フイルム株式会社
• デ-タ通信システム及びデ-タ通信システムのトラブル対処方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-014899   出願人：キヤノン株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

• NETsリポート 日立が自社研究所の独自技術を他社に販売
• 千代田化工、ASP事業を本格展開、ネットで情報技術外販