金属中微量元素の高精度分析方法および装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：白木大太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-049896
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316220
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】金属中微量元素を簡便、迅速しかも高精度で信頼性高く分析できる手段、特に試料調整段階で生ずる表面汚染を除去し、その状態で分析しうる手段を提供する。【解決手段】金属中微量元素の分析方法を、不活性ガス雰囲気の予備処理室内において試料表面に不活性ガススパッタリング処理を施して該試料のほぼ全表面の汚染部をほぼ同時に除去する段階と、前記スパッタリング処理終了後の試料を直接反応室に移して微量元素を定量する段階とを有してなるものとする。

請求項（抜粋）：

不活性ガス雰囲気の予備処理室内において、試料表面に不活性ガススパッタリング処理を施して該試料のほぼ全表面の汚染部をほぼ同時に除去する段階と、前記スパッタリング処理終了後の試料を直接反応室に移して微量元素を定量する段階と、を有することを特徴とする金属中微量元素の高精度分析方法。

IPC (4件)：

G01N 33/20 , G01N 1/28 , G01N 1/32 , G01N 31/00

FI (6件)：

G01N 33/20 L , G01N 33/20 J , G01N 1/32 B , G01N 31/00 Y , G01N 31/00 L , G01N 1/28 G

引用特許：

審査官引用 (6件)

金属中微量酸素の分析方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-248584 出願人：川崎製鉄株式会社
金属中炭素分析試料用予備処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-015176 出願人：新日本製鐵株式会社
特開平3-188642

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