特許

J-GLOBAL ID：200903084574677798

XY軸ヘッド位置決め装置

発明者： 船岡 幸治 ,  大賀 琢也 ,  木村 康樹 ,  岡村 将光
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266409
公開番号（公開出願番号）：特開2000-099152
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 軽量・高剛性で高いフィードバック制御性が得られるXY軸ヘッド位置決め装置を提供することにより、高加減速・高精度位置決めを可能にする。【解決手段】 XY方向に移動可能なXY平面案内装置41に設置されたヘッド30と、X軸方向に直線運動可能な直動案内装置6に設置され、偏平コイル34を備えてヘッド30をX軸方向に駆動する偏平なX軸テーブル1と、Y軸方向に直線運動可能な直動案内装置6に設置され、偏平コイル34を備えてヘッド30をY軸方向に駆動する偏平なY軸テーブル2と、前記X、Y軸テーブル1、2の偏平コイル34を可動子とする電磁駆動装置と、ヘッド30をX軸テーブル1およびY軸テーブル2の端面に沿って摺動させる連結案内装置40とを備え、前記ヘッド30の重心とX軸テーブル1とY軸テーブル2と連結案内装置40とをほぼ同一平面上に配置する。

請求項（抜粋）：

XY方向に移動可能なXY平面案内装置に設置された被搬送物であるヘッドと、X軸方向に直線運動可能なX軸方向案内装置に設置され、偏平な駆動コイルを備えて前記ヘッドをX軸方向に駆動する偏平なX軸テーブルと、Y軸方向に直線運動可能なY軸方向案内装置に設置され、偏平な駆動コイルを備えて前記ヘッドをY軸方向に駆動する偏平なY軸テーブルと、前記X、Y軸テーブルの駆動コイルを可動子とする電磁駆動装置と、前記ヘッドを前記X軸テーブルおよびY軸テーブルの端面に沿って摺動させる連結案内装置とを備え、前記ヘッドの重心とX軸テーブルとY軸テーブルと連結案内装置とをほぼ同一平面上に配置したXY軸ヘッド位置決め装置。

IPC (2件)：

G05D 3/00 ,  H01L 21/60 301

FI (2件)：

G05D 3/00 B ,  H01L 21/60 301 G

Fターム (11件)：

5F044BB19 ,  5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB07 ,  5H303BB12 ,  5H303CC01 ,  5H303DD04 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF06 ,  5H303GG11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• XYテーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-283919   出願人：日本精工株式会社
• XYステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-001932   出願人：日本精工株式会社