感光性樹脂組成物および絶縁膜

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-016873
公開番号（公開出願番号）：特開2000-212446
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：

【要約】【課題】厚膜での感度および解像性などのレジスト特性が良好で、キュア温度が比較的低く、かつ耐熱性、フレキシブル性等の被膜特性に優れるとともに下地段差平坦性に優れ、アルカリ水溶液での現像が可能なポリイミド系感光性樹脂組成物、および絶縁膜を提供する。【解決手段】(a)末端ハ-フエステル化イミドシロキサンオリゴマ-前駆体、(b)エポキシ基含有シラン化合物、(c)芳香族アミノ化合物、(d)光架橋性化合物、(e)光重合開始剤および(f)溶媒からなるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物、その硬化物である絶縁膜に関する。

請求項（抜粋）：

(a)末端ハ-フエステル化イミドシロキサンオリゴマ-前駆体、(b)エポキシ基含有シラン化合物、(c)芳香族アミノ化合物、(d)光架橋性化合物、(e)光重合開始剤および(f)溶媒からなるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

C08L 83/10 , C08K 5/18 , C08K 5/45 , C08K 5/54 , C08L 63/00 , C09D 5/00 , G03F 7/075 , H01B 3/30

FI (8件)：

C08L 83/10 , C08K 5/18 , C08K 5/45 , C08K 5/54 , C08L 63/00 A , C09D 5/00 C , G03F 7/075 , H01B 3/30 D

Fターム (74件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AA20 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC50 , 2H025BC78 , 2H025CA01 , 2H025CA26 , 2H025CA28 , 2H025CB25 , 2H025CC03 , 2H025CC06 , 2H025CC20 , 2H025EA10 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM041 , 4J002CP162 , 4J002EE038 , 4J002EE058 , 4J002EN067 , 4J002EN077 , 4J002EN087 , 4J002EN097 , 4J002EN098 , 4J002EP017 , 4J002EQ038 , 4J002EU188 , 4J002EU238 , 4J002EV217 , 4J002EV318 , 4J002EX066 , 4J002FD010 , 4J002FD142 , 4J002FD158 , 4J002FD200 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J002HA08 , 4J038DJ031 , 4J038DL031 , 4J038FA012 , 4J038JB06 , 4J038JC32 , 4J038KA04 , 4J038MA14 , 4J038NA14 , 4J038NA18 , 4J038NA21 , 4J038PA17 , 5G305AA07 , 5G305AA11 , 5G305AA20 , 5G305AB17 , 5G305AB24 , 5G305AB40 , 5G305BA09 , 5G305BA18 , 5G305CA26 , 5G305CA56 , 5G305CB04 , 5G305CB12 , 5G305CB16 , 5G305CB26 , 5G305CB30 , 5G305CD12 , 5G305CD20

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-050161
特開平4-018450
感光性ポリイミドシロキサン、組成物および絶縁膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-046122 出願人：宇部興産株式会社

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