特許
J-GLOBAL ID：200903084615320522
排気カート式連続排気処理における不良品パネルの検知方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-129239
公開番号（公開出願番号）：特開2002-324486
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：
【要約】【課題】 複数の中空パネルを排気カートに搭載して連続排気処理を行うにあたり、排気過程で不良品パネルを特定し、残るパネルの排気を行い生産効率の低下を防止する不良品パネルの検知方法を提供する。【解決手段】 少なくとも排気手段を搭載した排気カート10に複数のパネルP2を保持し、各パネルのチップ管Paと排気カートの排気ヘッド18とを接続するとともに、前記排気ヘッドと排気手段をそれぞれ開閉弁20を有する排気管19で排気ヘッダ17を介して接続して当該排気カートを炉内移動させながら排気処理をするにあたり、複数のパネルの排気不良を検知した場合、各パネルの前記開閉弁を全て閉としたのち、各パネルの開閉弁を順次開閉して各パネルの真空度を測定し、この測定真空度が許容範囲以外のものを不良品パネルとする排気カート式連続排気処理における不良品パネルの検知方法。
請求項（抜粋）：
少なくとも排気手段を搭載した排気カートに複数のパネルを保持し、各パネルのチップ管と排気カートの排気ヘッドとを接続するとともに、前記排気ヘッドと排気手段をそれぞれ開閉弁を有する排気管で排気ヘッダを介して接続して当該排気カートを炉内移動させながら排気処理をするにあたり、前記複数のパネルの排気不良を検知した場合、各パネルの前記開閉弁を全て閉としたのち、各パネルの開閉弁を順次開閉して各パネルの真空度を測定し、この測定真空度が許容範囲以外のものを不良品パネルとすることを特徴とする排気カート式連続排気処理における不良品パネルの検知方法。
IPC (3件)：
H01J 9/42
, H01J 9/385
, H01J 11/02
H01J 9/42 A
, H01J 9/385 A
, H01J 11/02 Z
5C012AA09
, 5C012BE03
, 5C040JA26
