特許
J-GLOBAL ID：200903084634728214

熱電変換素子およびその製造方法

発明者：
田口 隆志

田口 隆志 について

, 
大矢 信之

大矢 信之 について

, 
河野 欣

河野 欣 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (3件)： 伊藤 洋二 ,  三浦 高広 ,  水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-103090
公開番号（公開出願番号）：特開2007-281070
出願日： 2006年04月04日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】ナノサイズのワイヤを確実に形成する。【解決手段】多数の貫通孔22が形成されてなるガラステンプレート21を用意し(図2(a))、多数の貫通孔22に熱電変換材であるビスマスを充填する(図2(b))。そして、ガラステンプレート21が軟化する温度以上、かつ、ビスマスの融点以上の温度にガラステンプレート21を加熱した後、このガラステンプレート21を貫通孔22の軸方向に引き伸ばすことで、ガラステンプレート21の中にナノワイヤ10を形成する(図2(c)、(d))。この後、引き伸ばしたガラステンプレート21をチップ23状に切断する(図2(e))。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ガラスで構成されると共に、多数の貫通孔(22)が形成されてなる母材(21)を用意する工程と、 前記多数の貫通孔に熱電変換材を充填する工程と、 前記母材が軟化する温度以上、かつ、前記熱電変換材の融点以上に前記母材を加熱すると共に、前記母材を前記貫通孔の軸方向に引き伸ばすことで、前記母材の中にナノワイヤ(10)を形成する工程と、 前記引き伸ばした母材を、前記貫通孔の軸方向に対して垂直方向に切断してチップ(23)を形成する工程と、を含むことを特徴とする熱電変換素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 35/34 ,  H01L 35/18 ,  B82B 3/00 ,  C25D 1/02
FI (4件)：
H01L35/34 ,  H01L35/18 ,  B82B3/00 ,  C25D1/02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (2件)

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