特許

J-GLOBAL ID：200903084670710054

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 大森 宏紀 ,  古田 達彦 ,  田口 貴雄
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057198
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252454
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】マイクロレンズ形成時のレンズ間スペースの制御性に優れ、またレンズ融着によるレンズ未形成部分ができることが無く、マイクロレンズ形成安定性を高めることにより、実効感度の高いマイクロレンズを得ることのできる固体撮像素子を提供する。【解決手段】半導体基板上に複数の受光部2を備え、前記受光部上に少なくとも上部平坦化層10及びマイクロレンズ12が形成された固体撮像素子において、前記上部平坦化層に段差9が形成されており、段差のある部分及びない部分にマイクロレンズを形成する。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に複数の受光部を備え、前記受光部上に少なくとも上部平坦化層及びマイクロレンズが形成された固体撮像素子において、前記上部平坦化層に段差が形成されていることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

H01L 27/14 D ,  G02B 3/00 A ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 V

Fターム (22件)：

2H048BB02 ,  2H048BB10 ,  2H048BB28 ,  2H048BB46 ,  4M118AA02 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA31 ,  5C024DA01 ,  5C024EA04 ,  5C024EA08 ,  5C024FA01 ,  5C024FA11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 固体撮像素子及びその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-305955   出願人：ソニー株式会社
• カラー固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-063197   出願人：株式会社東芝
• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-275298   出願人：ソニー株式会社