特許
J-GLOBAL ID：200903084696639560
ITOの原料粉と焼結体およびそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸岡 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-320352
公開番号（公開出願番号）：特開平10-182150
出願日： 1997年11月06日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【課題】 原料粉に含まれる揮発成分により、焼成時の重量減や焼成中にポアを発生して密度を低下させることがなく、ホットプレスや酸素加圧焼成法のような高価な設備を用いないで、大気下の焼成法で大型化した焼成体が得られる製造方法とそのITO原料粉、ITO焼結体の提供。【解決手段】 原料塩と沈殿剤および反応条件、仮焼条件等を規定してハロゲン化物や低級酸化物などの揮発成分の混入を防いだ原料粉を合成し、これを所定の粒度に分散させたあと、所定の流動性をもつように造粒した粉体を加圧成形し、大気中あるいは酸素富化雰囲気で焼結すれば、大型、高密度化したITOスパッタリングターゲット用焼結体を得ることができる。
請求項（抜粋）：
ハロゲン元素の含有量が30ppm以下、比表面積が15m2 /g以上であることを特徴とする酸化インジウム粉。
IPC (5件)：
C01G 15/00
, C01G 19/00
, C01G 19/02
, C04B 35/457
, C23C 14/34
C01G 15/00 B
, C01G 19/00 A
, C01G 19/02 B
, C23C 14/34 A
, C04B 35/00 R
