特許
J-GLOBAL ID：200903084784212330
ボンディングワイヤの認識方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-221821
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061133
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】本発明は、ボンディングワイヤを認識する方法において、ワイヤのボンディング方向と直交する方向の中心位置を正確に検出でき、ワイヤを確実に認識できるようにすることを最も主要な特徴とする。【解決手段】たとえば、ワイヤの明るさの状態に応じたいくつかのプロファイルデータを、あらかじめパターンデータとしてパターン記憶部26に記憶しておく。そして、カメラ21により実際に撮像したワイヤ14のプロファイルデータを画像処理部22により求め、このプロファイルデータと上記各パターンデータとの相関値を、相関関数演算部23によりそれぞれ算出する。こうして、各パターンデータごとに求めた相関値のうち、最も高い相関値を示したときのパターンデータのX座標の中心座標を、その地点におけるワイヤ14の中心位置として、位置検出部24にて検出するようになっている。
請求項（抜粋）：
素子電極と端子電極との間にボンディングされたワイヤを認識する方法において、ボンディング方向に対する、ワイヤの明るさに応じた数画素分のプロファイルデータをそれぞれ基準パターンとして記憶しておき、前記素子電極と端子電極との間にボンディングされたワイヤを実際に撮像してワイヤ像を得、得たワイヤ像より、ある地点におけるワイヤのボンディング方向に沿う明るさのプロファイルデータを求め、前記ワイヤ像より求めたプロファイルデータと前記基準パターンとの相関値を、基準パターンごとにそれぞれ算出し、最大相関値の算出にともなう基準パターンの中心座標から、その地点におけるワイヤのボンディング方向と直交する方向の中心位置を検出し、いくつかの地点におけるワイヤのそれぞれの中心位置により、ワイヤの認識を行うようにしたことを特徴とするボンディングワイヤの認識方法。
IPC (6件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, H01L 21/60 301
, H01L 21/60 321
, H01L 21/66
G01B 11/24 K
, G01N 21/88 E
, H01L 21/60 301 B
, H01L 21/60 321 Y
, H01L 21/66 J
, G06F 15/62 405 C
, G06F 15/70 330 G
