特許
J-GLOBAL ID：200903084957615613

蒸気発生装置

発明者：
牛嶋 和文

牛嶋 和文 について

, 
牧川 新二

牧川 新二 について

, 
大野田 忠与

大野田 忠与 について


出願人/特許権者：
三洋電機株式会社

三洋電機株式会社 について

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信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について

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信越エンジニアリング株式会社

信越エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-071493
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267061
出願日： 2000年03月15日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：
【要約】【課題】 蒸気の流量制御機構を用いることなく、蒸気流量を安定的に制御すると共に、不純物の混入のない清浄な蒸気を得る。【解決手段】 マグネトロン12を取り付けた導波管11の内部に、多孔質体14を備えた石英ガラス製の容器13を配置し、該容器13に水導入管15、蒸気送出管16及び排水管17を接続する。流量調節弁18により所定流量に制御された純水は多孔質体14上面に滴下し、その内部に速やかに浸潤する。マグネトロン12から導波管11内にマイクロ波を供給すると、多孔質体14の内部に保持されている純水はマイクロ波加熱され、瞬時に気化してその表面から外部へと出て、蒸気送出管16を通して外部へと運ばれる。純水の流量とマグネトロン12の出力とを適切に制御すれば、供給された純水は全て蒸気となるから、流量調節弁18でもって蒸気流量を制御することができる。
請求項（抜粋）：
a)マイクロ波発生手段と、b)発生したマイクロ波を案内する導波管と、c)該導波管内に配置され、水を浸潤させて保持する構造体と、d)該構造体に水を供給する給水手段と、を備えることを特徴とする蒸気発生装置。
IPC (6件)：
H05B 6/80 ,  F22B 1/28 ,  H01L 21/31 ,  H05B 6/64 ,  H05B 6/68 320 ,  H05B 6/70
FI (6件)：
H05B 6/80 Z ,  F22B 1/28 Z ,  H01L 21/31 Z ,  H05B 6/64 D ,  H05B 6/68 320 Q ,  H05B 6/70 E
Fターム (36件)：
3K086AA01 ,  3K086AA02 ,  3K086AA05 ,  3K086BA08 ,  3K086BB01 ,  3K086CA04 ,  3K086CB04 ,  3K086CB20 ,  3K086CC02 ,  3K086CD04 ,  3K086CD12 ,  3K086CD19 ,  3K086CD27 ,  3K086DA02 ,  3K086FA08 ,  3K090AA01 ,  3K090AA04 ,  3K090AA13 ,  3K090AB07 ,  3K090AB20 ,  3K090BA01 ,  3K090BB18 ,  3K090CA02 ,  3K090DA06 ,  3K090EB13 ,  3K090EB29 ,  3K090FA03 ,  3K090FA07 ,  3K090PA04 ,  5F045AA20 ,  5F045AC01 ,  5F045AF03 ,  5F045BB02 ,  5F045DP20 ,  5F045DQ06 ,  5F045EE03
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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