振動ジャイロおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-048553
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250628
出願日： 2001年02月23日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】振動子の精度がよく、支持部材に突起を形成する必要がない振動ジャイロを提供する。【解決手段】振動ジャイロ10は、正4角柱状の振動子12を含む。振動子12の一方の分割電極の中央部16aは、一方のノード部分に対応する位置の内側から他方のノード部分に対応する位置の外側にレーザで形成される。振動子12の他方の分割電極の中央部16bは、一方のノード部分に対応する位置の外側から他方のノード部分に対応する位置の内側にレーザで形成される。振動子12の溝16abおよび輪郭は、ダイサーでカットして形成される。一方の支持部材22の中央部22aは、分割電極の中央部16bおよび支持部17aに取り付けられ、他方の支持部材22bは、分割電極の中央部16aおよび支持部17bに取り付けられる。

請求項（抜粋）：

2つの分割電極および2つのノード部分を有する柱状の振動子と、前記2つのノード部分に対応するそれぞれの位置で前記振動子を幅方向に横切るようにして前記振動子に取り付けられ、前記2つの分割電極に個別に電気的に接続される2つの支持部材とを含む振動ジャイロであって、前記振動子の主面において、その幅方向における中央に溝が形成され、前記溝の両側に前記2つの分割電極が形成され、前記2つのノード部分の一方のノード部分に対応する位置で前記2つの支持部材の一方の支持部材が前記2つの分割電極に取り付けられ、前記2つのノード部分の他方のノード部分に対応する位置で前記2つの支持部材の他方の支持部材が前記2つの分割電極に取り付けられ、前記一方の支持部材の内側で前記2つの分割電極の一方の分割電極がレーザで幅方向にカットされ、前記他方の支持部材の内側で前記2つの分割電極の他方の分割電極がレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (7件)：

2F105AA01 , 2F105AA08 , 2F105BB15 , 2F105CC06 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (10件)

センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-135987 出願人：株式会社村田製作所
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-288747 出願人：株式会社村田製作所
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-161096 出願人：株式会社村田製作所

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審査官引用 (10件)

センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-135987 出願人：株式会社村田製作所
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-288747 出願人：株式会社村田製作所
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-161096 出願人：株式会社村田製作所

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