特許
J-GLOBAL ID:200903085021315657
PDPパネル封入ガス分析方法およびPDPパネル封入ガス分析装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-170137
公開番号(公開出願番号):特開2001-349870
出願日: 2000年06月07日
公開日(公表日): 2001年12月21日
要約:
【要約】【課題】 封入ガスを効率的に捕集しかつ分析することのできるPDPパネル封入ガス分析方法およびPDPパネル封入ガス分析装置を得る。【解決手段】 ガラス管4をゲッターバルブ3を覆うように配置し、ガラス管4をPDPパネル2に気密に固着する。ガラス管4を配管5に接続し、ポンプ7,8で配管5およびガラス管4内荒引きし十分な真空度に到達したら、配管5およびガラス管4内の残留ガス成分を測定(測定値A)する。ゲッターバルブ3を破砕しPDPパネル2内の封入ガスを測定(測定値B)する。測定値Bから測定値Aを差し引くことでPDPパネル2内の正味の封入ガス成分を分析する。
請求項(抜粋):
PDPパネル内の封入ガスを分析する方法であって、前記PDPパネルのゲッターバルブまたは排気管を粉砕することにより、前記PDPパネル内の封入ガスを質量分析計に導入し測定することを特徴とするPDPパネル封入ガス分析方法。
IPC (6件):
G01N 27/62
, G01N 1/00 101
, G01N 1/22
, H01J 9/42
, H01J 11/02
, H01J 49/04
FI (7件):
G01N 27/62 V
, G01N 27/62 F
, G01N 1/00 101 R
, G01N 1/22 V
, H01J 9/42 A
, H01J 11/02 Z
, H01J 49/04
Fターム (11件):
5C012BE01
, 5C012BE04
, 5C038EE01
, 5C038EF12
, 5C038EF22
, 5C040GJ01
, 5C040GJ10
, 5C040JA26
, 5C040JA31
, 5C040LA17
, 5C040MA26
引用特許:
審査官引用 (11件)
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特開昭60-264036
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質量分析装置における気体導入装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-081706
出願人:日機装株式会社
-
質量分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-022620
出願人:株式会社日立製作所
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引用文献:
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