特許

J-GLOBAL ID：200903085185179118

偏心測定装置

発明者： 安垣 誠人
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (2件)： 篠原 泰司 ,  藤中 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-270736
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024505
出願日： 2003年07月03日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】非球面量が大きい被測定物に対しても、干渉縞を高精度に測定して、高精度に偏心を測定できる偏心測定装置を提供する。 【解決手段】光源部3’と、光軸上を可動な参照ミラー6と、ビームスプリッタ5と、ビームスプリッタ5で合成された光を撮像する撮像素子10と、撮像素子10で撮像された、光路中に置かれた被検レンズ系1に光束を通して得られた被検レンズ系1のi面(ただし、iは1〜nの範囲で段階的に参照ミラー6の位置を光軸上に移動させたときに参照ミラー6の波面と被検物の波面とが交わる被検レンズ系1の面位置)を含む反射光と参照ミラー6の反射光とによる干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検レンズ系1のi面の偏心を求める処理手段を有し、かつ、光源部3’を、可干渉距離が10μmを超えない超低コヒーレンス光源で構成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源部と、光軸上を可動に構成された参照ミラーと、前記光源部からの光を被検物側と前記参照ミラー側とに分割する光路分割手段と、被検物からの反射光と前記参照ミラーからの反射光とを合成する光路合成手段と、前記光路合成手段で合成された光を撮像する撮像素子と、前記撮像素子で撮像された、光路中に置かれた被検物に光束を通して得られた被検物のi面(ただし、iは1〜nの範囲で段階的に前記参照ミラーの位置を光軸上に移動させたときに該参照ミラーの波面と被検物の波面とが干渉する被検物の面位置)を含む反射光と前記参照ミラーの反射光とによる干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検物のi面の偏心を求める処理手段を有し、かつ、 前記光源部を、超低コヒーレンス光源で構成したことを特徴とする偏心測定装置。

IPC (2件)：

G01B11/00 ,  G01M11/00

FI (2件)：

G01B11/00 D ,  G01M11/00 L

Fターム (12件)：

2F065AA16 ,  2F065BB22 ,  2F065CC22 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL62 ,  2F065MM26 ,  2G086FF04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 干渉測定機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-329563   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 干渉測定方法、装置及びその方法またはその装置により測定された物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-191082   出願人：オリンパス光学工業株式会社

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-218248
  
• 特開平3-287424
  
• 車両のウインカー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-027117   出願人：菅沼攻招