特許
J-GLOBAL ID：200903085213909763

配線材料および液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法

発明者：
河内 玄士朗

河内 玄士朗 について

, 
阿武 恒一

阿武 恒一 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-005900
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214255
出願日： 1993年01月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 大型化/高精細化に適し、高い歩留まりを実現でき、簡略な工程で製造できる液晶表示装置用の薄膜半導体装置を提供する。【構成】 走査信号電極をTa電極10と主表面が(220)面に配向したAl電極11との積層膜で構成する。積層膜の表面/側面に陽極酸化膜20,21を形成し、外部接続端子部は、陽極酸化膜20,21をマスクとし上層のAl電極11をエッチング除去し、Ta電極10のみを露出させて形成する。a-Si:H膜30とゲートSiN膜22とを同一のパターンに加工する。【効果】 表面のヒロックを抑制してショート不良を低減できる。耐腐食性の高い外部接続端子を実現できる。上記構造を1回のホト工程で形成でき、製造工程が簡略化される。
請求項（抜粋）：
(220)面が膜表面に平行になるように配向した結晶粒と(200)面が膜表面に平行になるように配向した結晶粒との体積比が、0.5以上であるAl膜またはAlを主成分とする合金膜を含むことを特徴とする配線材料。
IPC (4件)：
G02F 1/136 500 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/784
FI (2件)：
H01L 21/88 N ,  H01L 29/78 311 A
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • 特開平3-058019
  • 特開昭62-065468
  • 特開昭61-013227
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