位置検出装置およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-075057
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264006
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】空気圧シリンダなどのアクチュエータのケーシングを小型化し得るようにする。【解決手段】アクチュエータのケーシングに往復動自在に装着された往復動部材としてのピストンロッドやピストンの位置を検出する。ピストンにはマグネット14が取り付けられており、ケーシングに取り付けられる検出器には、マグネット14の磁力に感応するGMRセンサ素子31を有するセンサ部24が設けられており、検出器は平板形となっている。平板形の検出器はケーシングの平坦面に取り付けられ、ピストンロッドの位置を検出する。

請求項（抜粋）：

マグネットを有する往復動部材が往復動自在に装着されたアクチュエータケーシングと、前記アクチュエータケーシングに取り付けられ、前記マグネットの磁力に感応する磁気センサ素子が組み込まれたシート状の検出器を有し、前記磁気センサ素子は前記マグネットの磁界方向とほぼ平行の方向に伸びる磁気感応部を有することを特徴とする位置検出装置。

IPC (5件)：

G01B 7/00 , F15B 15/14 310 , F15B 15/28 , G01D 5/18 , G01D 5/245

FI (6件)：

G01B 7/00 J , F15B 15/14 310 , F15B 15/28 L , F15B 15/28 J , G01D 5/18 L , G01D 5/245 R

Fターム (24件)：

2F063AA02 , 2F063BA05 , 2F063CA34 , 2F063CB01 , 2F063CC05 , 2F063DA05 , 2F063DD03 , 2F063GA52 , 2F063LA27 , 2F077AA49 , 2F077CC02 , 2F077JJ03 , 2F077JJ09 , 2F077JJ23 , 2F077UU09 , 2F077VV01 , 2F077VV33 , 3H081AA02 , 3H081AA03 , 3H081BB03 , 3H081DD22 , 3H081GG06 , 3H081GG15 , 3H081GG23

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平3-156301
特開平4-216482
小型磁電変換素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-016958 出願人：旭化成電子株式会社, 旭化成工業株式会社

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