特許
J-GLOBAL ID:200903085245557451
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-083694
公開番号(公開出願番号):特開2004-294552
出願日: 2003年03月25日
公開日(公表日): 2004年10月21日
要約:
【課題】現像後のレジストの剥離時間が長時間化せず、密着性及びテンティング性に優れるレジストが形成可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供すること。【解決手段】(A)アルカリ可溶性バインダーポリマーと、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D1)下記一般式(1)で表されるアミンと、を含有する感光性樹脂組成物であって、上記(D1)成分の含有量が上記(A)成分及び(B)成分の総量100重量部に対して7.5〜30重量部であることを特徴とする感光性樹脂組成物。なお、式中、R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアルキルアリール基を示す。【化1】【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)アルカリ可溶性バインダーポリマーと、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D1)下記一般式(1)で表されるアミンと、を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(D1)成分の含有量が前記(A)成分及び(B)成分の総量100重量部に対して7.5〜30重量部であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F7/004
, C08F291/00
, G03F7/033
FI (4件):
G03F7/004 501
, G03F7/004 512
, C08F291/00
, G03F7/033
Fターム (33件):
2H025AA14
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025CA01
, 2H025CA20
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CB52
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA40
, 2H025FA43
, 4J026AA16
, 4J026AA17
, 4J026AA28
, 4J026AA45
, 4J026AA47
, 4J026AA48
, 4J026AA49
, 4J026AA50
, 4J026AA53
, 4J026AA54
, 4J026AA55
, 4J026BA28
, 4J026BA36
, 4J026DB06
, 4J026DB26
, 4J026DB36
, 4J026FA06
引用特許:
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