感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性エレメント

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-033569
公開番号（公開出願番号）：特開2002-236362
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】高解像性、高密着性、高感度、めっき浴汚染性等に優れ、特にレジスト材料等に適した感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】カルボキシ基を有するバインダーポリマー、分子内に光重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに光開始剤としてのN,N-ジ(ヒドロキシ)アルキルアミノフェニル環を2個以上有するアミン化合物及びトリフェニルイミダゾール二量体を含有する組成物。

請求項（抜粋）：

バインダーポリマー(A)、分子内に光重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物(B)並びに光開始剤(C)として下記一般式(I)で表される置換基を分子内に2個以上有し、アセトニトリル中で365nmにおけるモル吸光係数が500以下のアミン系化合物(C1)及び水素引き抜き型光開始剤(C2)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(但し、R1 及びR2 は炭素数1〜6個のアルキル基又はヒドロキシアルキル基を示す。)

IPC (9件)：

G03F 7/031 , C08F 2/44 , C08F 2/50 , C08F291/00 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 , G03F 7/029 , G03F 7/033 , H05K 3/00

FI (9件)：

G03F 7/031 , C08F 2/44 C , C08F 2/50 , C08F291/00 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 , G03F 7/029 , G03F 7/033 , H05K 3/00 F

Fターム (41件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC19 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025CA01 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J011AC04 , 4J011PA63 , 4J011PA69 , 4J011QA07 , 4J011QA13 , 4J011QA15 , 4J011QA24 , 4J011QA25 , 4J011QA33 , 4J011QA34 , 4J011QA38 , 4J011QB16 , 4J011QB24 , 4J011SA25 , 4J011SA62 , 4J011SA75 , 4J011SA78 , 4J011SA82 , 4J011UA01 , 4J011UA02 , 4J011VA01 , 4J011WA01

引用特許：

審査官引用 (8件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-279697 出願人：日本合成化学工業株式会社
特開昭52-130701
ジアミン化合物を含有する感光性樹脂組成物及びこれを塗布した感光性フィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-363578 出願人：コーロンインダストリーズインク

全件表示

前のページに戻る