特許
J-GLOBAL ID:200903085260788303
均一拡張性と滑性に優れるポリオレフィン系フィルム
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-046327
公開番号(公開出願番号):特開2001-232683
出願日: 2000年02月23日
公開日(公表日): 2001年08月28日
要約:
【要約】【課題】均一拡張性と滑性とを同時に満足させるポリオレフィン系フィルムを提供すること。【解決手段】ポリオレフィン系フィルムを、少なくとも片面の表面粗度Raが0.15以上であり、伸張前の面内位相差R0が300nm以下、50%伸張後の面内位相差R50とR0との比R50/R0が2.00以下のフィルムとする。好ましくは、結晶性ポリエチレンを主成分とする層(A)と、エチレン、プロピレン、ブテン-1からなる群から選ばれる少なくとも1成分を40重量%以上含有する非晶質ポリオレフィンを含む層(B)とが(A)/(B)/(A)の構成をとるフィルムとする。該フィルムは半導体ウエハのダイシング用テープ基材として有効である。
請求項(抜粋):
少なくとも片面の表面粗度Raが0.15以上であり、伸張前の面内位相差R0が300nm以下、50%伸張後の面内位相差R50とR0との比R50/R0が2.00以下であることを特徴とする均一拡張性と滑性に優れるポリオレフィン系フィルム。
IPC (5件):
B29C 59/04
, B32B 27/32
, C08J 5/18 CES
, H01L 21/301
, C08L 23:00
FI (5件):
B29C 59/04 C
, B32B 27/32 E
, C08J 5/18 CES
, C08L 23:00
, H01L 21/78 M
Fターム (44件):
4F071AA14
, 4F071AA15
, 4F071AA20
, 4F071AA21
, 4F071AA78
, 4F071AA89
, 4F071AF27
, 4F071AF28
, 4F071AF31Y
, 4F071AH12
, 4F071BB06
, 4F071BC01
, 4F071BC08
, 4F071BC16
, 4F100AK04A
, 4F100AK04B
, 4F100AK04C
, 4F100AK07B
, 4F100AK09B
, 4F100AL05B
, 4F100BA03
, 4F100BA06
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100EH20
, 4F100GB41
, 4F100JA11A
, 4F100JA11C
, 4F100JA12B
, 4F100JK15
, 4F100YY00B
, 4F209AA03
, 4F209AA03E
, 4F209AE09
, 4F209AF01
, 4F209AG01
, 4F209AG03
, 4F209AG05
, 4F209PA03
, 4F209PB02
, 4F209PC05
, 4F209PG05
, 4F209PG12
, 4F209PQ01
引用特許:
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