エアロゾルデポジッション成膜装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-006658
公開番号（公開出願番号）：特開2006-193784
出願日： 2005年01月13日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：

【課題】緻密で膜密着性が高く、結晶性の良好な膜を形成可能なエアロゾルデポジッション成膜装置を提供する。【解決手段】成膜材料の微粒子をエアロゾル化するエアロゾル形成部20と、エアロゾル29にレーザ光を照射しエアロゾル29を形成する微粒子27を加熱する加熱部30と、エアロゾル29を基板43に向けて噴射して成膜を行う成膜部40と、成膜部40を減圧雰囲気に保持する排気系50などから構成し、加熱部30において、エアロゾルを形成する微粒子にレーザ光を照射して微粒子を加熱し、微粒子を構成する材料に誘起されている歪みを低減する。さらに加熱により微粒子の結晶性を向上し、微粒子表面の付着物を除去する。加熱された微粒子は、成膜部40で噴射ノズル42により噴射された際に断熱膨張により冷却されるので基板43に熱的なダメージを与えない。赤外線、紫外線、マイクロ波等によりエアロゾルを加熱する例をさらに開示する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

無機材料からなる微粒子をキャリアガスに分散させたエアロゾルを形成するエアロゾル形成手段と、前記エアロゾルを噴射ノズルにより噴射して基体上に無機材料膜を成膜する成膜手段と、前記エアロゾル形成手段と前記成膜手段との間に、前記エアロゾル中の微粒子を加熱する加熱手段と、を備え、前記加熱手段は、高エネルギーの電磁波をエアロゾルに照射することを特徴とするエアロゾルデポジッション成膜装置。

IPC (2件)：

C23C 24/08 , H01L 21/31

FI (3件)：

C23C24/08 C , C23C24/08 B , H01L21/31 A

Fターム (26件)：

4K044AA13 , 4K044AA16 , 4K044AB10 , 4K044BA02 , 4K044BA06 , 4K044BA08 , 4K044BA10 , 4K044BA12 , 4K044BA13 , 4K044BA14 , 4K044BA15 , 4K044BB01 , 4K044BB10 , 4K044BC05 , 4K044BC06 , 4K044CA23 , 4K044CA24 , 4K044CA71 , 5F045AA00 , 5F045AB31 , 5F045AF07 , 5F045BB07 , 5F045DP02 , 5F045DQ10 , 5F045EK17 , 5F045EK19

引用特許：

出願人引用 (6件)

特許第2963993号明細書
超微粒子成膜法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-210765 出願人：工業技術院長
特許第3348154号

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審査官引用 (5件)

特許第3348154号
特許第3348154号
ポリマー-無機粒子ブレンドを一体化させる構造体
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-518819 出願人：ナノグラム・コーポレイション

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