特許
J-GLOBAL ID：200903036160131918
ステージ装置およびこれを用いた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322323
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149976
出願日： 1996年11月18日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 レチクルステージ等を走査させたときのガイドの渦電流を低減する。【解決手段】 レチクルステージ3は両側のリニアモータによってガイド2に沿ってY軸方向に走査される。レチクルステージ3とガイド2を非接触に保つエアパッドユニット11〜14は、それぞれ、ガイド2の溝2aに嵌合する積層磁性体24に対向する予圧ユニット23を有し、これによって軸受剛性を強化される。積層磁性体24は、薄板磁性材と薄板絶縁材を積層したもので、予圧ユニット23の移動によって発生する渦電流を薄板絶縁材によって寸断して、リニアモータの駆動効率を向上させる。
請求項（抜粋）：
ガイドの案内面に沿って移動自在である移動ステージと、これを移動させる駆動手段と、前記移動ステージと前記案内面の間を非接触に保つための静圧軸受手段と、前記案内面の所定の部位に対向して移動するように前記移動ステージに保持された磁気手段を有し、前記案内面の少なくとも前記所定の部位が、絶縁層を介して複数の薄板磁性材を積層した積層磁性体の側面によって構成されていることを特徴とするステージ装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B23Q 1/25
, B23Q 5/28
, G03F 9/00
, H01L 21/68
H01L 21/30 518
, B23Q 5/28 B
, G03F 9/00 H
, H01L 21/68 K
, H01L 21/30 515 F
, H01L 21/30 515 G
, B23Q 1/18 Z
