特許

J-GLOBAL ID：200903085357013063

強誘電体薄膜素子、圧電素子及びその製造方法

発明者： 西野 仁 ,  中岡 春雪
出願人/特許権者： 大阪瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 北村 修 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-071170
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270766
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 基板とは別個に電極を設ける必要がなく、曲面を有する振動検出対象に対しても、好適に適応できる可撓性を有する強誘電体薄膜素子を得る。【解決手段】 基板表面上に、鉛、ジルコン、チタンから選択された2種以上の金属を含む複合酸化物薄膜を備える強誘電体薄膜素子を製造する場合に、基板として、鉛、ジルコン、チタンのいずれか1種からなる特定材料基板を使用し、この特定材料基板表面に基板材料の酸化層を形成した後、複合酸化物薄膜を形成して、強誘電体薄膜素子を得る。

請求項（抜粋）：

鉛、ジルコン、チタンから選択された2種以上の金属を含む複合酸化物薄膜を備え、前記複合酸化物薄膜の表裏面のいずれかの側に基板を備えた強誘電体薄膜素子であって、前記基板が、鉛、ジルコン、チタンのいずれか1種からなる強誘電体薄膜素子。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  C30B 29/32 ,  G01L 1/16 ,  H01B 3/12 301 ,  H01L 41/187

FI (5件)：

H01L 41/08 C ,  C30B 29/32 A ,  G01L 1/16 ,  H01B 3/12 301 ,  H01L 41/18 101 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 誘電体結晶膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-271266   出願人：宇部興産株式会社
• 強誘電性セラミックスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-074186   出願人：株式会社豊田中央研究所
• 圧電素子ユニット及びその製造方法並びにその圧電素子ユニットを用いたインクジェット記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-178338   出願人：富士電機株式会社
• 特開平4-133369