特許
J-GLOBAL ID：200903085407775121
設備管理システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河宮 治
, 山田 卓二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-189525
公開番号（公開出願番号）：特開2005-025451
出願日： 2003年07月01日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】半導体製造工程における設備の故障関連情報を適切に電子化し、入力作業を容易に行い、過去のトラブル検索を容易に行う。【解決手段】半導体装置の製造工程に関して製造装置の異常及び処置のデータを保管する設備管理データベースと、装置修理若しくは保全に使用するパーツのパーツデータを格納するパーツ管理データベースと、装置異常発生時の異常現象及び発生部位を、装置毎に予め格納した異常発生部位データベースとを利用する、設備情報管理システムを構築する、その設備管理システムにおいて、設備管理データベースは、設備情報部と、故障情報部とを備え、更に、設備管理データベースは文書データベースで構築され、異常発生部位データベースはリレーショナル・データベースで構築されていることを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
半導体装置の製造工程に関して、製造装置に係るデータ、製造装置の異常及び処置のデータを記録する設備管理データベースと、
装置修理若しくは保全に使用するパーツのパーツデータを記録するパーツ管理データベースと、
装置異常発生時の異常現象及び異常部位を、装置毎に予め記録する異常発生部位データベースとを利用する、設備管理システムにおいて、
設備管理データベースは、設備情報部と、故障情報部とを備え、
更に、設備管理データベースは文書データベースで構築され、異常発生部位データベースはリレーショナル・データベースで構築されていることを特徴とする設備管理システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G05B19/418 Z
, G06F17/60 106
, G06F17/60 138
3C100AA52
, 3C100AA53
, 3C100AA57
, 3C100AA63
, 3C100BB13
, 3C100EE06
