特許
J-GLOBAL ID：200903085417685899
形状記憶合金パイプ型アクチュエータ及びその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
平山 一幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-011794
公開番号（公開出願番号）：特開2003-210588
出願日： 2002年01月21日
公開日（公表日）： 2003年07月29日
要約：
【要約】【課題】 能動細管一本毎に複数のアクチュエータを位置あわせして組み立てる工程を必要としない形状記憶合金パイプ型アクチュエータ及びその作製方法を提供する。【解決手段】 形状記憶合金パイプ型アクチュエータ1は、アクチュエータ部2と、アクチュエータ部2の両端2a,2bを固定し且つアクチュエータ部2を細管3に固定する固定部4がパイプ状の一体物で構成される。形状記憶した形状記憶合金パイプ上にレジストを塗布し、非平面露光によりレジストパターンを形成し、レジストパターンをマスクとして電解エッチングし、形状記憶合金パイプ内壁に設けたダミー金属層に貫通させて作製する。
請求項（抜粋）：
アクチュエータ部とアクチュエータ部の両端を固定し且つアクチュエータ部を細管に固定する固定部が、パイプ状の一体物で構成されることを特徴とする、形状記憶合金パイプ型アクチュエータ。
Fターム (16件)：
4C167AA02
, 4C167AA05
, 4C167AA32
, 4C167BB02
, 4C167BB05
, 4C167BB07
, 4C167BB37
, 4C167BB40
, 4C167BB52
, 4C167CC08
, 4C167EE03
, 4C167FF10
, 4C167GG24
, 4C167GG32
, 4C167HH08
, 4C167HH30
