特許
J-GLOBAL ID：200903085441887702

欠陥検査装置

発明者：
布施 正樹

布施 正樹 について


出願人/特許権者：
三菱レイヨン株式会社

三菱レイヨン株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-133867
公開番号（公開出願番号）：特開2001-318059
出願日： 2000年05月02日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：
【要約】【課題】 被検査体の地合い斑の影響を防止するとともに、被検査体と反射率の差がほとんどない欠陥が存在するような場合にも、このような欠陥を検出可能な検出精度の高い検査装置を提供する。【解決手段】 被検査体2に近接するように設置された反射体1と、被検査体2を、反射体1とは反対の方向から照明を行う照明装置3と、照明装置3から照明された被検査体2からの反射光を受光し、欠陥吸収波長以外の波長領域における透過率が低い色を有するフィルタ4が前面に取り付けられたセンサ5と、センサ5の検知信号を処理し、被検査体2に含まれる欠陥を検出する画像処理装置6とを有する。
請求項（抜粋）：
被検査体の一方の表面に近接するように設置された反射体と、前記被検査体を、前記反射体とは反対の方向から照明を行う照明装置と、前記照明装置から照明された前記被検査体からの反射光を受光し、欠陥の吸収波長以外の波長領域における透過率が低い色を有するフィルタが前面に取り付けられたセンサと、前記センサの検知信号を処理し、前記被検査体に含まれる欠陥を検出する画像処理装置と、を有することを特徴とする欠陥検査装置。
Fターム (15件)：
2G051AA40 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA23 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051ED22
引用特許：
審査官引用 (10件)
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