特許
J-GLOBAL ID：200903085628349615
表面処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-268000
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092493
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【解決手段】 2枚の石英ガラス板31、32を所定の間隔をもって対向させ、かつ左右両側辺を樹脂材料33で接着して、その内部に上下方向のガス流路30を画定したノズル23を形成する。ノズルは、セラミック材料からなるノズルホルダ26〜29により保持される。電源電極及び接地電極は、ノズルの両側に配置され、かつノズルホルダに関して下辺及び一方の側辺に幾分遊び40、41を有するように、その上辺及び他方の側辺がボルト38、39で固定される。放電ガスをノズル上端からガス流路内に導入し、両電極間で放電させて放電ガスの励起活性種を生成し、これを含む放電ガス流をノズル下端のガス噴出口34から被処理材39表面に向けて噴出させる。【効果】 放電により発生する熱に対して電極を冷却する必要が無いので、処理レートを高く維持できる。装置の構造・組立が簡単。局所的な表面処理ができる。
請求項（抜粋）：
所定のガスを被処理材の表面に向けて送出するためのガス流路と、前記ガス流路内で前記ガスに大気圧又はその近傍の圧力下で気体放電を発生させ、それにより前記ガスの励起活性種を生成するための一対の電源電極及び接地電極とからなり、前記励起活性種を含む前記ガスを前記被処理材表面に噴出させるようにした表面処理装置であって、前記ガス流路が、2枚の誘電体からなる板を所定の間隔をもって対向させ、かつその間隙に供給される前記ガスを前記誘電体板の一方の側辺から前記被処理材表面に噴出させるように形成され、前記各電極が、前記誘電体板を挟んでその外側に対向配置されることを特徴とする表面処理装置。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
H05H 1/46 M
, C23C 16/50
, C23F 4/00 A
, H01L 21/302 J
