投影露光装置の環境制御システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯塚雄二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116934
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283432
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】投影露光装置が常に正常に作動するように、該装置の動作環境を良好に制御すること。【解決手段】送風手段(20,22,26)によって、投影露光装置(12)へ温度制御した気体を送風する。温度センサ(38)によって、投影露光装置(12)を構成する所定部材(19)の温度を測定する。温度センサ(38)の測定結果に基づいて、投影露光装置(12)へ送風される気体の温度が所定部材(19)の温度と略一致するように送風手段(20,22,26)を制御する。

請求項（抜粋）：

投影露光装置の動作環境を制御する環境制御システムにおいて、前記投影露光装置へ温度制御した気体を送風する送風手段と;前記投影露光装置を構成する所定部材の温度を測定する温度センサと;前記投影露光装置へ送風される気体の温度が前記所定部材の温度と略一致するように、前記温度センサの測定結果に基づき前記送風手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする投影露光装置の環境制御システム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 E , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-022118
特開平4-080912
半導体露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-031337 出願人：キヤノン株式会社

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