ガス検出器

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：北村修一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-060322
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257766
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ダイアフラム様の支持基板上に、膜状酸化物と膜状酸化物の電気抵抗値を計測する電極と膜状酸化物を加熱するためのヒーターとを設け、ヒーターのonとoffを繰り返し、ヒータのon時間中における電極間の抵抗値によりガスを検知するガスセンサにおいて、低消費電力で、雑ガス感度を抑制して特定ガス種の選択的感度を得るガス検出器を実現することを目的とする。【解決手段】 on時間を短くした一次検知モードにおいて、不特定ガスの有無を膜状酸化物の電気抵抗値により監視し、一次検知モードにおいて、電気抵抗値が所定レベル以上の変化が計測されたときにのみ、一次検知モードのon時間よりも長くヒーターを駆動する二次検知モードに移行させ、二次検知モード時の電気抵抗値と一次検知モード時の電気抵抗値との大小により特定ガス種か否かを判定する。

請求項（抜粋）：

薄膜状の支持膜の外周部または両端部が電気絶縁性の基板により支持されてなるダイアフラム様の支持基板上に、ガスの有無によって抵抗値が変化する膜状酸化物と、前記膜状酸化物の電気抵抗値を計測するための少なくとも1対の電極と、前記膜状酸化物を加熱するためのヒーターとを設け、前記ヒーターのonとoffを繰り返し、前記ヒータのon時間中における前記電極間の抵抗値により、ガスを検知するガスセンサにおいて、前記ヒーターのon時間を短くした一次検知モードにおいて、不特定ガスの有無を前記膜状酸化物の電気抵抗値により監視し、前記一次検知モードにおいて、前記膜状酸化物の電気抵抗値の変化が所定レベル以上計測されたときにのみ、前記一次検知モードのon時間よりも長くヒーターを駆動する二次検知モードに移行させ、前記二次検知モード時の前記膜状酸化物の電気抵抗値と前記一次検知モード時の前記膜状酸化物の電気抵抗値との比較により特定ガス種か否かを判定するガス検出器。

IPC (3件)：

G01N 27/12 , G08B 21/16 , G08B 21/00

FI (3件)：

G01N 27/12 A , G08B 21/16 , G08B 21/00

Fターム (24件)：

2G046AA02 , 2G046AA19 , 2G046BA01 , 2G046BB02 , 2G046BC04 , 2G046BE03 , 2G046CA04 , 2G046DB04 , 2G046DC14 , 2G046DD01 , 2G046FB01 , 2G046FE25 , 2G046FE31 , 2G046FE38 , 2G046FE41 , 2G046FE46 , 5C086AA02 , 5C086BA01 , 5C086CA04 , 5C086CB13 , 5C086DA04 , 5C086DA08 , 5C086EA01 , 5C086GA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096271 出願人：富士電機株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-248629 出願人：富士電機株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096270 出願人：富士電機株式会社

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