特許

J-GLOBAL ID：200903085665487912

光リソグラフィー用光学部材及び投影光学系

発明者： 神保 宏樹 ,  平岩 弘之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-242448
公開番号（公開出願番号）：特開平8-107060
出願日： 1994年10月06日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【目的】 微細で鮮明な、例えば線幅0.3μm 以下の露光・転写パターンを実現することが可能な光リソグラフィー用光学部材及び投影光学系を提供する。【構成】 光学部材の屈折率の高均質性に加え、複屈折量の絶対値が2.0nm/cm以下、複屈折量の分布が中央対称、屈折率楕円体における進相軸方向が中央対称であることにより、投影レンズの設計性能に近い解像度を得ることが可能になる。

請求項（抜粋）：

400nm以下の特定波長帯域で使用される光リソグラフィー用光学部材において、複屈折量の分布が中央対称性を有することを特徴とする光学部材。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

• エキシマレーザー用合成石英ガラス光学部材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-210622   出願人：信越石英株式会社
• 紫外線レーザー用合成石英ガラス光学部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-299997   出願人：信越石英株式会社
• 特開平3-109223
  
• 特開平3-088743