高感度赤外線検出素子およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-123462
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304955
出願日： 2000年04月25日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】高感度赤外線検出素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】高感度赤外線検出素子は、赤外線の入射による温度上昇により電気的な出力を提供する赤外線検出部と、前記の出力を取り出すための一対の第1電極および第2電極と、赤外線検出部の赤外線受光面側に設けられる赤外線吸収部とを具備し、赤外線吸収部が金属硫化物を含むことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

赤外線の入射による温度上昇により電気的な出力を提供する赤外線検出部と、前記出力を取り出すための一対の第1および第2電極と、前記赤外線検出部の赤外線受光面側に設けられる赤外線吸収部とを具備し、前記赤外線吸収部は金属の硫化物を含むことを特徴とする高感度赤外線検出素子。

IPC (4件)：

G01J 1/02 , G01J 5/02 , H01L 27/14 , H01L 37/02

FI (8件)：

G01J 1/02 C , G01J 1/02 Y , G01J 5/02 P , G01J 5/02 B , G01J 5/02 C , H01L 37/02 , H01L 27/14 K , H01L 27/14 D

Fターム (21件)：

2G065AB02 , 2G065BA11 , 2G065BA12 , 2G065BA13 , 2G065BA14 , 2G065DA20 , 2G066BA01 , 2G066BA08 , 2G066BA09 , 2G066BA51 , 2G066BA55 , 4M118AA01 , 4M118AA06 , 4M118AB10 , 4M118BA05 , 4M118CA14 , 4M118CA35 , 4M118CB12 , 4M118CB14 , 4M118EA01 , 4M118GA10

引用特許：

審査官引用 (8件)

焦電型赤外線検出素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-008272 出願人：松下電器産業株式会社
太陽電池素子及びその電極の表面処理方法及び太陽電池モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-121824 出願人：シャープ株式会社
特開平4-170075

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