特許
J-GLOBAL ID：200903085788234830
波面収差補正装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-065525
公開番号（公開出願番号）：特開2008-220771
出願日： 2007年03月14日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】波面収差を補正する際、電圧を印加する電極数が多い可変形状ミラーを用いたとしても、目標ミラー形状への応答性と高補正精度の両立により、応答良く短時間にて残収差を小さく抑える補正を達成し、高倍率としてもきわめて鮮明な画像を得ることができる波面収差補正装置を提供すること。【解決手段】複数の電極9e...と薄膜ミラー9bを有する可変形状ミラー9と、光束の波面収差を測定する波面センサと、複数の電極9e...にそれぞれ対応する薄膜ミラー9b上の作用点と目標点との差に基づいて第1電圧値Vnを演算する手段と、波面収差の多項式による展開モード毎の電圧テンプレートVm*を用いて第2電圧値Vnを演算する手段と、補正開始域では第2電圧値Vnを主に用い、補正終了域では第1電圧値Vnを主に用いるという使い分け手段と、決定した電圧値を用い、可変形状ミラー9のミラー形状の補正を繰り返す制御を行う可変形状ミラー制御手段と、を有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数の電極と、該複数の電極に印加された電圧値に応じて形状を変化させる薄膜ミラーを有し、入射した光束の波面収差を補正する可変形状ミラーと、
前記可変形状ミラーが設けられた光学系に収差補正対象を含み、該収差補正対象と可変形状ミラーを経由した光束を受光して該光束の波面収差を測定する波面センサと、
前記波面センサからの信号により、前記複数の電極にそれぞれ対応する薄膜ミラー上の作用点と目標点との差に基づいて、前記複数の電極それぞれに印加する第1電圧値を演算する第1電極印加電圧演算手段と、
波面収差の多項式による展開モード毎に、それぞれの展開モードを誘起する電極の電圧配列データである電圧テンプレートを記憶しておき、前記波面センサで得られた波面収差が所望の収差になるように各展開モードの重ね合わせ振幅を決定し、前記記憶している電圧テンプレートを用い前記複数の電極のそれぞれに印加する第2電圧値を演算する第2電極印加電圧演算手段と、
補正開始域では前記第2電極印加電圧演算手段により演算された第2電圧値を主に用い、補正終了域では前記第1電極印加電圧演算手段により演算された第1電圧値を主に用いるという使い分けにより、前記複数の電極のそれぞれに印加する電圧値を決定する電圧値使い分け手段と、
前記電圧値使い分け手段により決定した電圧値に基づき、前記波面センサにより測定される光束の波面収差を抑制するように、前記可変形状ミラーのミラー形状の補正を繰り返す制御を行う可変形状ミラー制御手段と、
を有することを特徴とする波面収差補正装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
A61B3/10 Z
, A61B3/12 E
, A61B3/10 R
