特許
J-GLOBAL ID：200903089008768362

可変形状ミラーの変形方法、光学装置の収差補償方法及び眼底観察装置の収差補償方法

発明者：
中西 美智子

中西 美智子 について

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川島 浩幸

川島 浩幸 について

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齋藤 紀子

齋藤 紀子 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (2件)： 吉村 直樹 ,  宮尾 雅文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-210680
公開番号（公開出願番号）：特開2007-025504
出願日： 2005年07月20日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】 使用環境及び個々の可変形状ミラーの製造誤差などに合わせてキャリブレーションし、収差補正に適したZernike電圧テンプレートを使用し、可変形状ミラーの形状を変形する。【解決手段】 複数電極部に印加された静電電圧により歪みを生じる反射面を備え、反射面の反射光を検出して、所望の反射面形状をなすときの各電極部への印加電圧を測定し、一の基準となる反射面形状に対応する各電極部への印加電圧を1つの組として、所定の異なる数の反射面形状に対応する所定の組数を予め記憶し、前記記憶された電極部と印加電圧との組を重ね合わせることにより所望の形状に反射面を変形させる可変形状ミラーの変形方法において、記憶された検出信号と、実際に検出された検出信号とを比較し、記憶された検出信号を湿度や製造誤差等の使用環境条件をもとに補正して所望の検出信号が得られるように可変形状ミラーを変形する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
複数の電極部と、これらの電極と対向して配置され電極部に印加された静電電圧により歪みを生じる薄膜状の反射面とを備え、所定の形状に変形され反射面光束の波面ひずみを補正する可変形状ミラーとを有し、一の基準となる反射面形状に対応する各電極部への印加電圧を1つの組として、所定の異なる数の反射面形状に対応する所定の組数を予め記憶し、前記記憶された電極部と印加電圧との組を重ね合わせることにより所望の形状に反射面を変形させる可変形状ミラーの変形方法において、 予め記憶された一の基準となる反射面形状に対応する各電極部への印加電圧を1つの組として、所定の異なる数の反射面形状に対応する所定の組数を補正して可変形状ミラーを変形させることを特徴とする可変形状ミラーの変形方法。
IPC (3件)：
G02B 5/10 ,  A61B 3/12 ,  A61B 3/10
FI (3件)：
G02B5/10 B ,  A61B3/12 E ,  A61B3/10 Z
Fターム (5件)：
2H042DA20 ,  2H042DB14 ,  2H042DD10 ,  2H042DD13 ,  2H042DE00
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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