特許

J-GLOBAL ID：200903085850825255

コンタクトプローブ

発明者： 加藤 直樹 ,  佐々木 勇人 ,  吉田 秀昭 ,  石井 利昇
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329245
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160355
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 コンタクトピンの通電用接触部に端子の金属が付着してショートするのを防ぐ。【解決手段】 コンタクトプローブ30のコンタクトピン10は、Ni-Mn合金からなる内部層11の先端部10aを露出させて、その他の表面をAuの第一被覆層12で被覆する。

請求項（抜粋）：

複数のパターン配線がフィルム上に形成され、これらのパターン配線の各先端が前記フィルムから突出してコンタクトピンとされるコンタクトプローブにおいて、前記コンタクトピンの針先は、Ni基合金からなる内部層が、通電用接触部を除いて導電性金属で被覆されていることを特徴とするコンタクトプローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/067 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/067 G ,  G01R 1/073 D ,  H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 高速同軸接触および信号伝送素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-097186   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-127843   出願人：フレッシュクエストコーポレーション, イノテック株式会社