特許
J-GLOBAL ID：200903085864694412

露光装置およびデバイス製造方法ならびに位置決め装置

発明者：
涌井 伸二

涌井 伸二 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-072221
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274031
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 軽量であり、且つ高剛性で高精度な露光装置を提供する。【解決手段】 レチクルパターンを感光基板に露光転写する露光装置において、該レチクルもしくは該感光基板を保持するテーブルと、該テーブルを位置決めするためのパラレルリンク機構を備えていることを特徴とする。また、第1物体と第2物体の相対的な位置合わせを行なう装置において、該第1物体を保持して移動させる第1パラレルリンク機構と、該第2物体を保持して移動させる第2パラレルリンク機構とを有し、該第1パラレルリンク機構と該第2パラレルリンク機構は共通のベースに支持され、該ベースベースは第3物体を支持し、該第3物体に対する前記第1物体並びに前記第2物体の位置決めがなされることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
レチクルパターンを感光基板に露光転写する露光装置において、該レチクルもしくは該感光基板を保持するテーブルと、該テーブルを位置決めするためのパラレルリンク機構を備えていることを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00
FI (5件)：
H01L 21/30 515 F ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B
引用特許：
審査官引用 (9件)
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