特許
J-GLOBAL ID：200903085942315822
保護被膜と保護被膜を有する磁気ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-015006
公開番号（公開出願番号）：特開平9-212814
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】 磁気ディスク装置の薄膜ヘッドにおいて、磁気記録媒体との接触により生ずる磁気ヘッドスライダ1の機械的摩耗を十分に防止するための保護被膜を提供する。【解決手段】 磁気ヘッドスライダ1の保護被膜として、密着層であるシリコン層2と保護層であるカーボン層3の2層を含む膜から構成され、そのシリコン層2には窒素を含む。又シリコン層2中の窒素濃度は1から57パーセントの範囲である。
請求項（抜粋）：
磁電変換素子と磁電変換素子に外部から動作電流を印加する導電パタンを有する磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持するスライダとから構成される磁気ヘッドスライダの保護被膜であり、密着層であるシリコン層と保護層であるカーボン層の2層を少なくとも含む膜から構成され、前記シリコン層に窒素を含むことを特徴とする磁気ヘッドスライダ保護被膜。
IPC (3件)：
G11B 5/255
, G11B 5/60
, G11B 21/21 101
G11B 5/255
, G11B 5/60 B
, G11B 21/21 101 K
