特許
J-GLOBAL ID：200903085999474951
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-061539
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273705
出願日： 2003年03月07日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
【課題】露光のためにマスクステージに固定されたマスクに付着しているパーティクルを除去できるようにする。【解決手段】ステージ105の上にパーティクル除去ウエハ107を配置し、この上方に、マスク支持アーム106により保持されたマスク103を配置する。この状態で、マスク103を保持しているマスク支持アーム106を下降させ、マスク103のパターン面103aを粘着層107aに当接させ、これらがステージ105の上で重着した状態とする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
マスクに設けられたマスクパターンを露光対象のウエハの上に露光する露光装置であって、
露光時に前記ウエハを載置するステージと、
このステージの上方で、前記マスクパターンの形成面を前記ステージの方向に向けて前記マスクを昇降可能に保持する保持手段と、
少なくとも表面に粘着層が形成されたシート状のパーティクル除去部材を前記ステージと前記マスク保持手段に保持されるマスクとの間に搬入する移動機構と
を少なくとも備え、
前記マスク保持手段は、
前記ステージの上に保持している前記マスクを下降させ、前記パーティクル除去部材と前記マスクとを重着させる
ことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L21/30 503G
, G03F1/08 X
, H01L21/30 509
, H01L21/30 541S
2H095BA10
, 2H095BB20
, 5F046AA17
, 5F046BA02
, 5F046CB17
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F056AA22
, 5F056AA25
, 5F056EA14
, 5F056FA10
