特許
J-GLOBAL ID:200903086058388278

光ビームの光のスペクトルを選択検出するための光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 津野 孝 ,  三宅 正之
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-516953
公開番号(公開出願番号):特表2008-503733
出願日: 2005年04月22日
公開日(公表日): 2008年02月07日
要約:
光ビームの光のスペクトルを選択検出するための光学装置(2)であって、特に共焦点走査顕微鏡(1)内で検出光ビーム(3)の光を検出するのに好適なものであり、光ビームを空間的にスペクトル分解するための手段(18)と、予め設定可能な連続スペクトル領域を選択するための選択手段と、検出器(28)とを有する光学装置において、選択された連続スペクトル領域内において予め設定可能なスペクトル部分領域をマスクするために光ビーム中に導入可能な少なくとも1つの遮断素子(25、26、27)を備えることを特徴としている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光ビームの光のスペクトルを選択検出するための光学装置(2)であって、特に共焦点走査顕微鏡(1)内で検出光ビーム(3)の光を検出するのに好適なものであり、前記光ビームを空間的にスペクトル分解するための手段(18)と、予め設定可能な連続スペクトル領域を選択するための選択手段と、検出器(28)とを有する光学装置において、 選択された連続スペクトル領域内において予め設定可能なスペクトル部分領域をマスクするために前記光ビーム中に導入可能な少なくとも1つの遮断素子(25、26、27)を備えていることを特徴とする光学装置。
IPC (4件):
G01J 3/04 ,  G01N 21/64 ,  G01N 21/27 ,  G02B 7/18
FI (4件):
G01J3/04 ,  G01N21/64 E ,  G01N21/27 E ,  G02B7/18 A
Fターム (40件):
2G020CB23 ,  2G020CC13 ,  2G020CC43 ,  2G020CC44 ,  2G020CC45 ,  2G020CC46 ,  2G020CD23 ,  2G020CD24 ,  2G043EA01 ,  2G043EA14 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043GA04 ,  2G043GA08 ,  2G043GB01 ,  2G043GB17 ,  2G043GB18 ,  2G043GB19 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA11 ,  2G043HA15 ,  2G043JA05 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043LA02 ,  2G059EE02 ,  2G059EE07 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ23 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK01 ,  2G059KK02 ,  2H043BA00
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 独国特許出願公開第19902625号明細書
  • 独国特許出願公開第10156695号明細書
審査官引用 (4件)
  • 走査型光学装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2000-072506   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • 分光計
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-126907   出願人:スズキ株式会社
  • 露光装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-057359   出願人:株式会社ニコン
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