気流制御方法及び気流制御構造

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-092863
公開番号（公開出願番号）：特開2004-299813
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】本発明は、クリーンストッカ内のクレーンの移動の際に発生する気流の乱れを抑制することのできる気流制御方法および気流制御構造を提供することを課題とする。【解決手段】棚2の間を移動するクレーン4によりカセット3を移送する構成のストッカ内の気流を制御する。ストッカ内に設けられた複数の空気循環用ブロア5の吸い込み量をクレーン4の移動に追従して個別に制御することによりストッカ内の乱流の発生を抑制する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

棚の間を移動するクレーンにより搬送物を移送する構成のストッカ内の気流を制御する気流制御方法であって、該ストッカ内に設けられた複数の空気循環用ブロアの吸い込み量を該クレーンの移動に追従して個別に制御することによりストッカ内の乱流の発生を抑制することを特徴とする気流制御方法。

IPC (3件)：

B65G1/00 , F24F7/06 , H01L21/68

FI (3件)：

B65G1/00 521D , F24F7/06 C , H01L21/68 T

Fターム (19件)：

3F022AA07 , 3F022BB08 , 3F022FF01 , 3F022JJ01 , 3F022JJ07 , 3L058BD00 , 3L058BE08 , 3L058BF08 , 3L058BG05 , 5F031DA17 , 5F031GA02 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031JA10 , 5F031JA19 , 5F031JA47 , 5F031NA03 , 5F031NA16 , 5F031NA17

引用特許：

審査官引用 (5件)

保管装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-063081 出願人：株式会社豊田自動織機製作所
クリーンルーム設備の空調制御方法及びグレーチングユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-212862 出願人：日立プラント建設株式会社
特開平2-161240

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