特許
J-GLOBAL ID：200903086127685107

真空成膜の材料供給装置

発明者：
牛神 善博

牛神 善博 について

, 
飯尾 逸史

飯尾 逸史 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-198114
公開番号（公開出願番号）：特開平11-043763
出願日： 1997年07月24日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 蒸発材料の補充を装置の運転を停止させることなく行うことができるような真空成膜の材料供給装置を提供すること。【解決手段】 ハース29の貫通孔29cの直下に上下動可能に設けられた蒸発材料39の押し上げ棒35と、これを駆動する駆動機構36と、真空容器21とは独立して真空状態にすることができる補充室61を有し複数の蒸発材料を格納するための補充部60と、複数の蒸発材料を保持することができ、その1つを押し上げ棒に供給するための供給部70と、補充部と供給部の所定の位置とを結んで蒸発材料を移送するための密閉通路体を有しその途中をゲートバルブ81で開閉可能とした密閉通路体80と、該密閉通路体を通して補充部から供給部の所定位置への蒸発材料の移送を行う移送機構90とを備えた。
請求項（抜粋）：
加熱源と、真空容器内に配置されたハースとを有し、前記加熱源により前記ハースに収納された蒸発材料を蒸発させ、蒸発した物質を基板の表面に付着させることにより前記基板上に膜を形成する真空成膜装置において、前記ハースには上下方向に延びる貫通孔が形成されており、前記貫通孔の直下に上下動可能に設けられた前記蒸発材料の支持部と、該支持部を駆動する第1の駆動機構と、前記真空容器とは独立して真空状態にすることができる室を有し、複数の蒸発材料を格納するための補充部と、複数の蒸発材料を保持することができ、その1つを前記支持部に供給するための供給部と、前記補充部と前記供給部の所定の位置とを結んで蒸発材料を移送するための密閉通路を有しその途中をゲートバルブで開閉可能とした密閉通路体と、該密閉通路体を通して前記補充部から前記供給部の所定位置への蒸発材料の移送を行う移送機構とを備えたことを特徴とする真空成膜の材料供給装置。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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