特許

J-GLOBAL ID：200903086168885277

窒化金属部材、および窒化金属部材の製造方法

発明者： 出野 裕 ,  角舘 洋三 ,  薄葉 州
出願人/特許権者： 富士電機リテイルシステムズ株式会社 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-190351
公開番号（公開出願番号）：特開2006-008469
出願日： 2004年06月28日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】多孔質の窒化金属部材を安価に形成することができる、窒化金属部材の製造方法、および多孔質で安価な窒化金属部材を提供する。【解決手段】準備として粒径が230μmであるチタンの粉末11を用意する。先ず、そのチタンの粉末(金属の粉末)11に17.6MPaの圧力を加えて成型体13を形成する。次に、その成型体13をチャンバー内に入れる。次いで、そのチャンバー内に窒素ガスを入れる。次に、そのチャンバー内の温度をおよそ800°Cとする。このようにして、成型体13を窒素雰囲気中で焼結して、窒化チタン部材(窒化金属部材)14を形成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

金属の粉末に圧力を加えて成型体を形成した後、その成型体を焼結して窒化金属部材を形成することを特徴とする、窒化金属部材の製造方法。

IPC (4件)：

C04B 35/58 ,  C23C 8/24 ,  C25B 11/08 ,  C25D 17/10

FI (5件)：

C04B35/58 101D ,  C04B35/58 101A ,  C23C8/24 ,  C25B11/08 A ,  C25D17/10 101C

Fターム (19件)：

4G001BA69 ,  4G001BB31 ,  4G001BB37 ,  4G001BC13 ,  4G001BC44 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BD22 ,  4K011AA04 ,  4K011AA11 ,  4K011AA21 ,  4K011AA30 ,  4K011CA04 ,  4K011DA01 ,  4K028AA02 ,  4K028AB01 ,  4K028AB02 ,  4K028AB03 ,  4K028AC08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-269436
  
• 半導体製造・検査装置用セラミック基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-037070   出願人：イビデン株式会社
• 窒化チタン焼結体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-158375   出願人：科学技術振興事業団
• 特開平3-080156