特許
J-GLOBAL ID：200903086207257351

荷電粒子線顕微鏡および荷電粒子線顕微方法

発明者：
常田 るり子

常田 るり子 について

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高口 雅成

高口 雅成 について

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砂子沢 成人

砂子沢 成人 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-271167
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086126
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：
【要約】【課題】荷電粒子線照射によって得られる数種の画像のうち、一方で試料ドリフトを補正しながら他方を画像積算する際、ドリフトが補正されていなくとも画像積算を続けていた。また、画像表示において、両者を重ね合せただけの表示では試料構造が観察し難い場合があった。【解決手段】フーリエ変換像の位相差画像を用いた位置ずれ解析で計算される画像間の一致度を元のドリフトが補正できたかを判断する。また、画像表示において、一方もしくは両方の濃淡画像に適当な画像処理を施して線画にした後、重ね合せて表示する。【効果】ドリフト補正が実行されないまま画像積算されるのを防ぐことができるので、無人で画像積算を行うことができるようになる。また、像強度が最大となる位置や、像強度が急峻に変化する位置等、強度分布情報の把握が容易になる。
請求項（抜粋）：
所定の領域を所定時間間隔ごとに電子線が走査する工程と、透過電子を検出する工程と、検出された透過電子信号を走査に会わせて第1の画像として記録する工程と、前期記録する工程より得られた第1の画像データより位相差画像を求める工程と、前記位相差画像にもとづいてピーク信号を用いる第1の画像間の位置ずれ量が所定値以上であるかを判定する工程と、前記判定結果にもとづいて画像のずれ量を前期電子線の走査位置を修正して補正する工程と、走査位置が補正された電子線により走査して試料から得られるX線を検出する工程と、検出されたX線にもとづいて第2の画像データを記録する工程と、を有することを特徴とする荷電粒子線顕微方法。
IPC (5件)：
H01J 37/28 ,  G01N 23/04 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/252
FI (5件)：
H01J 37/28 C ,  G01N 23/04 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502 B ,  H01J 37/252 A
Fターム (30件)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA05 ,  2G001BA06 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001CA05 ,  2G001FA02 ,  2G001FA08 ,  2G001GA01 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001JA13 ,  2G001KA01 ,  2G001KA03 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA07 ,  5C033EE06 ,  5C033FF06 ,  5C033PP01 ,  5C033PP05 ,  5C033PP06 ,  5C033SS04 ,  5C033SS07
引用特許：
審査官引用 (2件)

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