特許
J-GLOBAL ID：200903045439538081

電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置

発明者：
常田 るり子

常田 るり子 について

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高口 雅成

高口 雅成 について

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長沖 功

長沖 功 について

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小林 弘幸

小林 弘幸 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138242
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331637
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】視差を利用した焦点補正システム等、画像ペアの位置ずれを元に補正値を求めるシステムの性能は位置ずれ解析法に大きく依存する。しかし従来採用された位置ずれ解析法は解析精度が1画素以下にならない、解析結果の信頼性を検証する機能が無い、バックグラウンド変化の影響を受け易い等の問題点があった。【解決手段】位置ずれ解析法として、画像ペアS1(n,m)とS2(n,m)のフーリエ変換像間の位相差画像P’(k,l)を計算し、該画像の逆フーリエ変換像上に現れるδ的なピークの重心位置から求める方法を採用する。【効果】位置ずれ解析精度が1画素未満になるので焦点解析精度が向上する。もしくは同じ解析精度を得るために必要な画素数を削減する事ができる。δ的なピークの強度で解析結果の信頼性を評価できる。位相成分を用いるのでバックグラウンド変化の影響を受け難い。以上の性能向上によって未熟練者でも熟練者と同等の補正が可能となる。
請求項（抜粋）：
電子銃と、前記電子銃からの第1の電子線を集束するレンズと前記第1の電子線を偏向する偏向器と、前記第1の電子線を試料に照射し試料からの第2の電子線像を検出する検出器と、試料を保持する試料ステージと、を備えた電子顕微鏡において、試料に入射する電子線の角度を第1の入射角度及び第2の入射角度に設定する角度偏向手段と、第1の入射角度における第1の電子顕微鏡像と第2の入射角度における第2の電子顕微鏡像を記録する手段と、第1及び第2の電子顕微鏡像の画像処理を行う画像処理手段と、前記画像処理手段からの第1と第2の画像の相関値を求める手段と、前記相関値が所定の範囲内にあることを判定する手段と前記判定する手段の結果に基づいて前記第1と第2の画像の解析画像に発生するピークの重心位置から第1の電子顕微鏡像と第2の顕微鏡像の位置ずれを解析する手段と、該位置ずれから求められた試料に対する前記レンズの焦点位置を所定の焦点位置に設定する手段を具備することを特徴する電子顕微鏡。
IPC (6件)：
H01J 37/21 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/26
FI (6件)：
H01J 37/21 A ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/147 A ,  H01J 37/20 C ,  H01J 37/22 501 A ,  H01J 37/26
Fターム (36件)：
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001FA12 ,  2G001FA16 ,  2G001FA30 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA11 ,  2G001GA13 ,  2G001HA01 ,  2G001HA07 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001KA12 ,  2G001LA01 ,  2G001MA02 ,  2G001PA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC01 ,  5C033EE03 ,  5C033LL01 ,  5C033LL03 ,  5C033SS03
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (14件)
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