特許
J-GLOBAL ID：200903086249195038
露光装置およびその方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-264584
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101951
出願日： 2002年09月10日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】ワークに対して高さ方向における整合位置および露光位置が異なることがなく、また、整合作業を行なう場合に作業者が介在することがなく、さらに、透光板の周囲を囲む金属フレームを必要とせず、マスクが設置される上側透光板の操作が容易となる露光装置およびその方法を提供すること。【解決手段】搬入搬出位置P1および前記露光位置P2に亘って上下2段に配置された第1搬送経路L1および第2搬送経路L2と、搬入搬出位置に配置された前記第1テーブル体10と、露光位置に配置された前記第2テーブル体20と、前記両テーブル体のそれぞれを異なる前記搬送経路に昇降移動させる昇降機構6と、搬入搬出位置または露光位置にそれぞれ搬送する搬送機構5と、を備え、前記両テーブル体は、ワークを載置するためのステージ板12、22と、前記マスクをあらかじめ設置するための上側透光板11,21とをそれぞれ有する構成とした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ワークの搬入および搬出を行なうと共に整合作業を行なう搬入搬出位置と、ワークに紫外線を含む光を照射して露光作業を行なう露光位置とに亘ってそれぞれ交互に搬送される第1テーブル体および第2テーブル体を介してワークを露光する露光装置であって、
前記搬入搬出位置および前記露光位置に亘って上下2段に配置された第1搬送経路および第2搬送経路と、この第2搬送経路上で搬入搬出位置に配置された前記第1テーブル体と、前記第1搬送経路上で露光位置に配置された前記第2テーブル体と、前記両テーブル体のそれぞれを異なる前記搬送経路に昇降移動させる昇降機構と、この昇降機構により昇降移動させた前記両テーブル体を前記搬入搬出位置または露光位置にそれぞれ搬送する搬送機構と、この搬送機構により前記搬出搬入位置に搬送された前記両テーブル体の一方にワークを搬入してマスクとの整合作業を行なう整合機構、ならびに、前記搬送機構により前記露光位置に搬送された前記両テーブル体の他方に紫外線を含む光を照射する光照射機構と、を備え、
前記両テーブル体は、ワークを載置するためのステージ板と、前記マスクをあらかじめ設置するための上側透光板とをそれぞれ有することを特徴とする露光装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2H097BA10
, 2H097DA01
, 2H097GA21
, 2H097GB01
, 2H097GB02
, 2H097LA09
, 2H097LA12
