アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-146164
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338998
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】製造工程を増大することなくTFT電極と画素電極との接触不良を防止することにある。【構成】透明基板上に薄膜トランジスタおよび周辺コンタクト電極を形成し、パッシベーション膜を積層する。この膜の周辺コンタクト電極上およびトランジスタノ電極上にコンタクトホールを形成し、金属膜を堆積、パターニングして薄膜トランジスタのチャネル部上およびコンタクトホール部上に金属膜をパターン形成する。ここでチャネル部上の遮光膜およびコンタクトホール上の金属膜は別のアイランドで形成し、チャネル部上の遮光膜はフローティングとする。最後に透明導電材料を堆積、パターニングして画素電極を形成する。同時に遮光膜上にも透明導電層をパターン形成する。

請求項（抜粋）：

透明基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体層、ドレイン・ソース電極からなる薄膜トランジスタを配列してなる薄膜トランジスタ基板を有するアクティブマトリクス型液晶表示装置において、パッシベーション膜上に前記薄膜トランジスタのチャネル部を遮光する金属遮光膜および画素電極を有し、前記ソース(ドレイン)電極と前記画素電極との間に金属膜が介在していることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (3件)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/78 619 B , H01L 29/78 627 E

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-058030
特開平4-358127
特開平4-122072

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アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方 法

アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法