ガスバリア性フィルムの製造方法、有機エレクトロルミネッセンス用樹脂基材の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-126312
公開番号（公開出願番号）：特開2006-299373
出願日： 2005年04月25日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】本発明の目的は、不純物粒子の混入がなく、非常に安定した製造を可能とし、かつ過酷な環境下で保存されても密着性に優れ、良好な透明性、ガスバリア耐性を備えたガスバリア性フィルムの製造方法と、それを用いた有機エレクトロルミネッセンス用樹脂基材の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。【解決手段】樹脂フィルム上に、該樹脂フィルム側から密着膜、セラミック膜及び保護膜を順次形成するガスバリア性フィルムの製造方法において、該密着膜、該セラミック膜及び該保護膜が、同一組成物から構成されている薄膜形成ガスを用いて形成されていることを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

樹脂フィルム上に、該樹脂フィルム側から密着膜、セラミック膜及び保護膜を順次形成するガスバリア性フィルムの製造方法において、該密着膜、該セラミック膜及び該保護膜が、同一組成物から構成されている薄膜形成ガスを用いて形成されていることを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。

IPC (5件)：

C23C 16/30 , B32B 18/00 , H05B 33/02 , H05B 33/10 , H01L 51/50

FI (5件)：

C23C16/30 , B32B18/00 C , H05B33/02 , H05B33/10 , H05B33/14 A

Fターム (61件)：

3K007AB12 , 3K007AB13 , 3K007BA07 , 3K007CA06 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 4F100AA12B , 4F100AA12C , 4F100AA12D , 4F100AA19B , 4F100AA19C , 4F100AA19D , 4F100AA20B , 4F100AA20C , 4F100AA20D , 4F100AD00C , 4F100AK01A , 4F100AK42 , 4F100AR00B , 4F100AR00D , 4F100AT00A , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10D , 4F100BA13B , 4F100BA13C , 4F100BA13D , 4F100BA26 , 4F100BA26C , 4F100EJ61 , 4F100GB23 , 4F100GB41 , 4F100GB66 , 4F100JA13C , 4F100JD02 , 4F100JL00D , 4F100JL11 , 4F100JL11B , 4F100JM02C , 4F100JN01 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA11 , 4K030AA14 , 4K030AA18 , 4K030BA35 , 4K030BA40 , 4K030BA43 , 4K030BA44 , 4K030BB12 , 4K030CA07 , 4K030CA12 , 4K030CA17 , 4K030FA01 , 4K030HA03 , 4K030JA00 , 4K030JA09 , 4K030JA14 , 4K030JA16 , 4K030JA18

引用特許：

出願人引用 (3件)

特公昭53-12953号公報
特開昭58-217344号公報
米国特許第6,268,695号明細書

審査官引用 (4件)

有機エレクトロルミネッセンス表示装置等に用いる基板および有機エレクトロルミネッセンス表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-261105 出願人：コニカ株式会社
機能体及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-248443 出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
エレクトロルミネッセンス素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-070850 出願人：三菱化学株式会社

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