特許
J-GLOBAL ID：200903035352951840

機能体及びその形成方法

発明者：
工藤 一良

工藤 一良 について

, 
辻 稔夫

辻 稔夫 について


出願人/特許権者：
コニカミノルタホールディングス株式会社

コニカミノルタホールディングス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-248443
公開番号（公開出願番号）：特開2004-084027
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】窒素のような安価かつ安全な放電ガスを用いても、高密度プラズマが達成でき、緻密で、剥離性、耐傷性、輝度寿命、透過率及び遮光性が改良された機能体及びその形成方法を提供すること。【解決手段】基材上に直接またはその他の機能部を介して、酸素原子と窒素原子の少なくともいずれか一方と珪素原子とを含有する機能部を持つ機能体の形成方法において、大気圧もしくはその近傍の圧力下で、対向する第1電極と第2電極との間にガスを供給し高周波電圧を印加することにより、該ガスを励起し、励起した該ガスに基材を晒し、該高周波電圧が第1の周波数ω1の電圧成分と該第1の周波数より高い第2の周波数ω2の電圧成分とを重ね合わせた成分を有することを特徴とする機能体の形成方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基材上に直接またはその他の機能部を介して、酸素原子と窒素原子の少なくともいずれか一方と珪素原子とを含有する機能部を持つ機能体の形成方法において、大気圧もしくはその近傍の圧力下で、対向する第1電極と第2電極との間にガスを供給し高周波電圧を印加することにより、該ガスを励起し、励起した該ガスに基材を晒し、該高周波電圧が第1の周波数ω1の電圧成分と該第1の周波数より高い第2の周波数ω2の電圧成分とを重ね合わせた成分を有することを特徴とする機能体の形成方法。
IPC (4件)：
C23C16/505 ,  C08J7/00 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (5件)：
C23C16/505 ,  C08J7/00 306 ,  C08J7/00 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (32件)：
3K007AB01 ,  3K007AB02 ,  3K007AB11 ,  3K007AB15 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4F073AA07 ,  4F073AA14 ,  4F073BA32 ,  4F073BB01 ,  4F073CA02 ,  4F073CA07 ,  4F073CA08 ,  4F073DA01 ,  4F073DA09 ,  4F073HA01 ,  4F073HA12 ,  4K030AA06 ,  4K030AA14 ,  4K030AA17 ,  4K030AA18 ,  4K030BA29 ,  4K030BA38 ,  4K030BA40 ,  4K030BA42 ,  4K030BA44 ,  4K030CA07 ,  4K030FA01 ,  4K030GA14 ,  4K030JA06 ,  4K030JA17 ,  4K030JA18
引用特許：
審査官引用 (12件)
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