特許

J-GLOBAL ID：200903092514750596

チタン金属とチタン酸ジルコン酸鉛膜を含む複合体の製造方法及び複合体

発明者： 梶芳 浩二 ,  浜地 幸生 ,  伴野 国三郎 ,  吉村 昌弘
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所 ,  新技術事業団 ,  吉村 昌弘
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-022146
公開番号（公開出願番号）：特開平6-211523
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：

【要約】【目的】 低温で、後処理工程を必要とすることなく、Ti金属上にPb(Zr,Ti)O3膜を容易かつ確実に形成する。【構成】 Ti基板または、Ti金属膜をその表面に形成した基板を、0.1mol/l 以上の鉛(Pb)化学種と0.05mol/l 以上のジルコニウム(Zr)化学種とを含有するpHが14以上のアルカリ性水溶液中に浸漬し、200°C以上の温度で水熱処理を施すことにより、前記Ti基板上、または、前記基板の表面に形成されたTi金属膜上にチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)膜を形成する。

請求項（抜粋）：

チタン(Ti)金属からなるTi基板を、0.1mol/l 以上の鉛(Pb)化学種と0.05mol/l 以上のジルコニウム(Zr)化学種とを含有するpHが14以上のアルカリ性の処理水溶液中に浸漬し、200°C以上の温度で水熱処理を施すことにより、前記Ti基板上にチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)膜を形成することを特徴とするTi金属とPb(Zr,Ti)O3膜を含む複合体の製造方法。

IPC (3件)：

C01G 25/00 ,  C23C 22/64 ,  H01B 3/12 338

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ジルコン酸鉛膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-334104   出願人：株式会社村田製作所