特許
J-GLOBAL ID：200903086453880556

位置決め装置および処理システム

発明者：
佐伯 弘明

佐伯 弘明 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-091917
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321540
出願日： 1996年03月21日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【課題】 高速かつ精度の高い位置決め動作が可能な位置決め装置。【解決手段】 半導体ウェハの位置決め装置は、回転載置台上のウェハの外縁形状を検出手段により光学的に検出し、制御部に送る。制御部では、ウェハの外縁形状を現す第1周縁形状信号を半周期(180度)分ずらして重ね合わせ、オリエンテーションフラットが特徴的に現れる第2周縁形状信号を得る。次に、第2周縁形状信号からオリエンテーションフラットに対応する信号部分を除去した後、第1周縁形状信号を最小2乗法により正弦波近似して第3周縁形状信号を得る。第3周縁形状信号から回転載置台に対するウェハの偏心量および偏心方向を読み取る。また、第1周縁形状信号から、オリエンテーションフラットに対応する信号部分を抽出し、最小2乗法により放物線近似して第4周縁形状信号を得る。第4周縁形状信号からオリエンテーションフラットの方向を読み取る。
請求項（抜粋）：
支配的な輪郭が実質的に円形で且つ外縁部に位置決め用切欠き部を有する被処理体を位置決めするための位置決め装置において、前記被処理体を支持するための回転可能な載置台と、前記載置台上の前記被処理体の外縁形状を光学的に検出する検出手段と、前記検出手段から出力された前記被処理体の360度回転分の第1周縁形状信号を180度分ずらして重ね合わせ第2周縁形状信号を得る第1演算手段と、前記第2周縁形状信号からピーク部分を抽出するピーク抽出手段と、前記第1周縁形状信号の、前記ピーク部分を含む所定範囲およびその範囲に対して180度分ずれた範囲を無効データとする無効化手段と、前記第1周縁形状信号から無効データを除いた有効データに基づいて第1周縁形状信号を曲線近似して第3周縁形状信号を得る第1曲線近似手段と、前記第3周縁形状信号に基づいて前記載置台の回転中心に対する前記被処理体の偏心方向および偏心量を求める第2演算手段とを備えたことを特徴とする位置決め装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 17/24 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G05D 3/12 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 M ,  B23Q 17/24 C ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/24 C ,  G01B 11/24 K ,  G05D 3/12 L ,  H01L 21/30 502 J
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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