特許

J-GLOBAL ID：200903086494262883

エアーナイフおよびそれを用いた乾燥処理装置

発明者： 金子 勝則 ,  磯 明典
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-277670
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105078
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】この発明は基板意付着した処理液を効率よく確実に除去乾燥させることができるようにしたエア-ナイフを提供することにある。【解決手段】 基板15に付着した処理液をエアーの圧力で除去するエアーナイフ16において、圧縮空気が導入される空間部18が形成されたナイフ本体17を有し、このナイフ本体には一端が上記空間部に連通し他端がナイフ本体の下端側に開放して上記圧縮空気を噴出する一対のスリット31が上記ナイフ本体の厚さ方向に離間しかつ上記ナイフ本体の長手方向に沿って形成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被処理物に付着した処理液をエアーの圧力で除去するエアーナイフにおいて、圧縮空気が導入される空間部が形成されたナイフ本体を有し、このナイフ本体には一端が上記空間部に連通し他端がナイフ本体の下端側に開放して上記圧縮空気を噴出する一対のスリットが上記ナイフ本体の厚さ方向に離間しかつ上記ナイフ本体の長手方向に沿って形成されていることを特徴とするエアーナイフ。

IPC (5件)：

F26B 21/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 651 ,  B08B 5/02

FI (5件)：

F26B 21/00 B ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 651 L ,  B08B 5/02 Z

Fターム (18件)：

2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  2H090HC18 ,  2H090JC20 ,  3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116AB14 ,  3B116BB24 ,  3B116BB32 ,  3B116BB62 ,  3B116CC03 ,  3L113AA03 ,  3L113AB09 ,  3L113AC35 ,  3L113AC47 ,  3L113AC69 ,  3L113BA34

引用特許：

審査官引用 (3件)

• エア-ナイフおよびエア-ナイフを用いた処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-161570   出願人：株式会社芝浦製作所
• 長尺帯状体の乾燥方法及びそのための装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-148063   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 基板の液切り装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-277328   出願人：日本電気株式会社